اتیلن اکسید (Ethylene Oxide, EtO) یک ترکیب گازی بسیار واکنش پذیر و آلکیله کننده است که توانایی تخریب DNA، RNA و پروتئین های میکروارگانیسم ها را دارد؛ به همین دلیل یکی از مؤثرترین عوامل استریلیزاسیون در صنایع پزشکی و داروسازی محسوب می شود.
EtO به دلیل قدرت نفوذ بالا قادر است به عمق بسته های چندلایه، پلاستیک ها، پلیمرها، و مواد متخلخل وارد شود؛ بنابراین برای تجهیزاتی که امکان اتوکلاو کردن آنها وجود ندارد (مانند وسایل الکترونیکی، کاتترها، فیلترها، سرنگ ها، یا تجهیزات دارای بخش های حساس به حرارت) بسیار مناسب است.
فرآیند استریلیزاسیون با EtO معمولاً شامل چهار مرحله است:
۱) پیش شرط سازی (Preconditioning)
۲) تزریق گاز و تماس کنترل شده
۳) تهویه و حذف باقی مانده گاز
۴) هواگیری طولانی برای کاهش سطوح باقیمانده مواد شیمیایی
با وجود کاربرد گسترده، اتیلن اکسید گازی سمی، قابل اشتعال و سرطان زا است و نیاز به کنترل های ایمنی دقیق، سیستم های تهویه تخصصی و اندازه گیری مداوم غلظت دارد.
در سیستم های صنعتی، EtO معمولاً با دی اکسیدکربن یا نیتروژن مخلوط می شود تا خطر انفجار کاهش یابد.

